1. Алдын ала шарттау:
Бұл зарарсыздандыру тиімділігін оңтайландыру үшін дәке өнімдерін (мысалы, дәке тампоны, тізе жөкелері) жылытуды және ылғалдандыруды қамтиды. Заттардың мінсіз температура мен ылғалдылыққа жетуін қамтамасыз ету үшін кейде алдын ала кондиционерлеу арнайы алдын ала кондиционерлеу камерасында орындалады.
2. Стерилизация:
Алдын ала дайындалған заттар стерилизация үшін этилен оксиді газы енгізілген EO стерилизаторына жіберіледі. Стерилизация процесі кезінде тиімді зарарсыздандыруды қамтамасыз ету үшін ЭО концентрациясы, температура, ылғалдылық және уақыт сияқты параметрлерді бақылау қажет.
3. Аэрация:
Стерилизациядан кейін этилен оксидінің қалдықтары заттардан тазартылуы керек. Мұны стерилизатор ішіндегі заттарды желдету немесе оларды арнайы аэрация камерасына ауыстыру арқылы жасауға болады. Аэрация процесі кезінде қалдықтардың қауіпсіз деңгейге дейін төмендеуін қамтамасыз ету үшін температура, уақыт және ауа ағыны сияқты параметрлерді бақылау қажет.